蚀刻是一种通过化学或物理方式将材料表面的一部分刻蚀掉的加工工艺。在蚀刻过程中,利用液体或气体中的化学物质或物理作用来对被加工材料进行局部刻蚀,从而达到制造各种形状和结构的目的。蚀刻技术广泛应用于电路板、模具、芯片、微机电系统等领域。
以下是蚀刻工艺的一些基本知识:
1.蚀刻工艺分类:按照材料加工方式的不同,蚀刻工艺可以分为湿蚀刻和干蚀刻两种。湿蚀刻是指在液体溶液中进行的刻蚀,而干蚀刻则是在气体环境中进行的刻蚀。
2.蚀刻液:蚀刻液是蚀刻工艺中非常重要的一部分,不同的蚀刻液可以对不同材料进行刻蚀。常用的蚀刻液包括氢氟酸、硝酸、氯化铁等。
3.刻蚀机:蚀刻机是进行蚀刻工艺的主要设备。常见的蚀刻机包括湿蚀刻机、干蚀刻机、光刻机等。
4.蚀刻模板:蚀刻模板是蚀刻工艺中用来制造所需结构的模具。常见的蚀刻模板材料包括玻璃、金属、石英等。
5.蚀刻图形:蚀刻图形是蚀刻工艺中要制作的结构形状。蚀刻图形需要经过CAD设计和光刻等工序进行制作。
其基本原理是利用化学感光材料的光敏特性, 在基体金属基片两面均匀涂敷感光材料采用光刻方法, 将胶膜板上栅网产显形状精确地复制到金属基片两面的感光层掩膜上通过显影去除未感光部分的掩膜, 将裸露的金属部分在后续的加工中与腐蚀液直接喷压接触而被蚀除, 最终获取所需的几何形状及高精度尺寸的产品技术蚀刻技术